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◇ 薄膜合成技術

　薄膜は、既存製品に機能を付与することができることから、様々な分野で応用・実用化されています。当研究室では、主に気相合成法で作製した薄膜に関して研究を行っています。気相合成法は、気化 (蒸発)させた原料から薄膜を合成する方法です。扱っている薄膜は、ダイヤモンドライクカーボン (DLC)薄膜をはじめとして、ダイヤモンド薄膜、シリカ薄膜、セラミックス薄膜など多岐にわたります。また、特徴のある薄膜蒸着装置を複数保有しており、備えたい機能性に応じた薄膜合成技術を開発しています。